APM기반의 자기진단: 반도체 공정용 건식 진공 펌프의 상태 진단의 새로운 지평
한국표준과학연구원 정완섭 박사
세계 선도적 국내 반도체 제조공정에서 운용중인 진공펌프들의 실시간 상태변수 측정치를 이용한 운전 상태진단 및 예지보수(PM) 구현이라는 도전적 과제의 추진 결과를 소개합니다. 본 발표의 핵심은 실시간으로 전달되는 상태변수들을 공정 적응형 모델(APM)의 최적 인자 추정 기법과, 추정된 인자 기반의 펌프 운전 상태 지시치 (Hotelling T2와 잔차제곱 합 Q차트) 연산 체계를 통합한 새로운 상태진단 기술입니다. 발표 시 MATLAB®기반으로 구현된 연산 모델 예시와 더불어 실공정 적용성과 유효성 평가의 일부 결과를 소개하고자 합니다.
녹화된 날짜: 2019년 4월 22일
